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IOT Expert EBON Technology Co.,Inc.
AIOT 化學濃度管理平台
應用 半導體等級相關應用
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AL etching solution
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KOH
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Others

本儀器是以AIOT 邊緣運算, 配合比重計以及滴定方式連續量測蝕刻液中之各種酸的濃度。 透過這樣的連續測量,控制酸濃度與預設的值相同,並使用Rule Base, 回歸控制或是AI 人工智慧邊緣運算使蝕刻智慧穩定,且又能預測未來蝕刻液的消耗量,達到降低成本的目的。
本儀器由以下各部份組成:
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AIOT元件: MCU, Sensor Board, PLC 以及控制系統。
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試劑Tank : 試劑Tank 控制量測時所使用的化學藥品
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酸補酸裝置: 智慧鈺測補酸
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AIOT 操作控制系統: AIOT人機介面的部份是透過輸出與及輸入的信號,達到量測與及控制酸液成分的功能, 並可連接 AWS等雲端監控系統。
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